層疊型壓電陶瓷及其制造方法、壓電元件和壓電振動(dòng)裝置與流程

背景技術(shù)：

關(guān)于壓電陶瓷，利用由壓電陶瓷形成的壓電元件通過機(jī)械性位移而產(chǎn)生電荷、或者通過電極間的電位差而產(chǎn)生機(jī)械性位移的性質(zhì)，被廣泛地用于傳感器、致動(dòng)器等中。

作為構(gòu)成壓電元件的壓電陶瓷的組成，廣泛使用鈦酸鋯酸鉛(pb(zr,ti)o3、pzt)及其固溶體。pzt類的壓電陶瓷具有以下優(yōu)點(diǎn)：由于具有較高的居里溫度，因此即使在高溫環(huán)境下也能夠使用，并且由于具有較高的機(jī)電耦合系數(shù)，因此能夠?qū)﹄娔芘c機(jī)械能高效地進(jìn)行轉(zhuǎn)換。另外，通過選擇適當(dāng)?shù)慕M成，能夠以低于1000℃的溫度進(jìn)行燒制，因此具有能夠降低壓電元件的制造成本的優(yōu)點(diǎn)。尤其是，在層疊型壓電陶瓷中，與壓電陶瓷同時(shí)燒制的內(nèi)部電極中能夠使用減少了鉑或鈀等高價(jià)格材料的含量的低熔點(diǎn)材料，產(chǎn)生大幅降低成本的效果。但是，pzt類的壓電陶瓷含有作為有害物質(zhì)的鉛，這被視為問題，希望使用不含鉛的壓電陶瓷代替pzt類的壓電陶瓷。

至今為止，作為不含鉛的壓電陶瓷的組成，公開有堿金屬鈮酸鹽((li,na,k)nbo3)類、鈦酸鉍鈉((bi0.5na0.5)tio3、bnt)類、鉍層狀化合物類和鎢青銅類等各種壓電陶瓷。其中，堿金屬鈮酸鹽類的壓電陶瓷由于其居里溫度高，機(jī)電耦合系數(shù)比較大，因此作為代替pzt類的壓電陶瓷而受到關(guān)注.

關(guān)于測試疊層壓電陶瓷的設(shè)備推薦北京精科智創(chuàng)科技的ZJ-5型多層壓電測試儀